從筆電到機台關鍵模組都要回收再利用，ASML推零廢棄循環經濟

雖是台灣的護國產業，但半導體高耗能、高汙染等特性卻也不可否認。台積電、聯電、日月光等半導體廠，都在節能省水等綠色製程上下足功夫。身為重要的半導體設備商，台灣艾司摩爾科技（ASML）也推動ASML先進曝光機循環經濟專案，以期達到「環境零汙染、資源零廢棄」的環境永續目標。

ASML在全球共有7座工廠，其中兩座位於台灣的林口跟台南。2019年底，他們決定在林口華亞科技園區的ASML全球技術支援及研發中心，建立極紫光源收集模組循環使用維修中心（EUV Collectorclean and qualification center），將EUV機台中的重要零組件回收再利用。

每台EUV設備要價上億美元，因此ASML有一套完整嚴謹的光源收集模組驗證流程。首先，ASML的工程師會從台灣客戶的機台上收集光源模組，送至林口工廠，進行清潔或更換受錫汙染的模組部件。

科技、物流、環境三贏

清潔後測量反光鏡反射率與模組各部件的功能，若模組功能都正常且反射率也達標，會將光源模組包裝後送回倉庫，當客戶下次要更換模組時，再由ASML的工程師裝上機台。

身為全球唯一的EUV設備製造商，ASML落實循環經濟的做法，在科技面、物流面、環境永續面向，都為自己跟台灣創造出效益。一方面不僅能把最新技術移轉到台灣，在台灣最先進的科技上佔有一席之地；藉此也能加快光源收集模組的周轉時間，降低客戶停機待料的機率，為ASML本身與客戶創造雙贏。此外，因為在地處理，免去模組運送到國外的運送成本外，更因此避免運輸過程中的碳排放量，減少在第三範疇的碳排量。

林口維修中心的產出規模，1年約可達到250顆模組。自正式營運起至2021年5月底為止，已累積產出80顆光源收集模組，都全數直接回到台灣當地物流中心當做庫存，供給台灣客戶的NXE機台下一次更換使用。

Reuse、Recycle、Redesign

這只是這家來自荷蘭的高科技廠，在環境永續上的做法之一，他們以3R為原則：重新使用（Reuse）、循環回收（Recycle）、重新設計（Redesign），推動更綠色的營運。

除了極紫光源收集模組外，ASML也將原本會丟棄的關鍵固定機構件加以回收，並於下次出機時再使用，不需再從國外進口新品的在地化專案，達到零次的跨國運輸。木材包材也回收做成棧板，再回到市場中。

他們也透過重新設計的方法，將需要回收再用的料件，巧妙整合在原本就會有的回程車，實現零額外運輸需求。此外，ASML也推動相容性設計，讓一個設計可以用在多種平台上，不會因為機台設備世代演進而需要丟棄舊品。

廢棄物管理也是ASML實現循環經濟及永續政策的關鍵，在他們2019-2025年的永續策略中，設定的目標是降低「廢棄物密集度」（waste intensity，意即每百萬歐元營收所產生的廢棄物公斤數），在2025年前的有害及一般廢棄物量，要比基準年2019年減少50%。此外，在2025年前還要將物料回收比重提高到85%。

從筆電到有毒廢棄物都要回收

ASML從2020年起，一樣秉持3R原則，推動一系列的減廢行動，從辦公室廢棄物到工廠的有毒廢棄物都採取了相關措施。在員工提案發起下，推動塑膠回收、減少一次性咖啡杯等做法，無塵室也改用可重複使用的手套。

使用4年後但功能尚健全的筆電，在2020年回收了6,500台，經整理後再利用。至於毀損的電腦則透過乾淨、獨立的管道，回收包括塑膠、鐵、鋼、銅、鋁、玻璃、和貴金屬等材料，當年度總回收量約2萬4,000公斤。在零件與運送包材上，ASML也推動回收再利用，在2020年重複使用近400萬公斤的物料。

半導體設備在製造及營運上產生的有害廢棄物包含檯燈、電池、有害液體、有害物料的包裝、清潔溼紙巾及濾網等等，其中丙酮和硫酸等液體廢棄物是 ASML最關注的。2020年，ASML完成廢硫酸再利用途徑的第一階段調查，並依據調查結果，設計及建置初步試驗系統。第二階段的調查及測試也於2021年實施。

這些做法，讓ASML台南跟林口兩廠在2021年的廢棄物回收率，都比2019年進步，也超越原先的目標。台南廠在2019年的回收率是65.6%，2021年已經大幅提升到85%（目標是81%）；林口廠也從2019年的89%進步到90%（目標87%）。

這也讓台灣成為ASML全球最佳持續改善區域，改善案件比其他區域的總和還多。ASML台灣還將成功的案例分享給荷蘭總部，並且幫助總部重新設計回收機制與設備。原來，台灣半導體不僅製程技術領先，連廢棄物處理也同樣不容小覷。

ESG心法

• 對應之SDGs：13 氣候行動
• 透過3R的持續改善做法，高汙染產業也能達到環境永續目標

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