當全球 AI 晶片需求如海嘯般湧來，全球晶圓製造服務龍頭台積電正在經歷一場前所未有的「雙軌考驗」。一手全力擴廠開出先進產能，另一手則必須掐緊碳排放。
在 2026 年「企業 1.5°C 論壇」上，台積電綠色製造部副處長曾惠馨站在台上，向台下 80 多家、來自各行各業已做出符合 1.5°C 溫控目標的與會企業們拋出一震撼宣告：「從 2025 年開始，台積電的碳排放只能一路絕對往下減，正式與產能脫鉤。」這家晶圓製造大廠，究竟如何規劃它的淨零路？
對台積電而言，淨零從來都不只是口號，而是一張與時間賽跑的科學路徑圖。儘管 AI 浪潮下，外界對台積電的目光多聚焦在業績與股價而非減碳，但台積電在去年做了一個關鍵且自我要求嚴苛的決定——正式承諾遵循「科學基礎減量目標倡議」（SBTi）。
這項倡議徹底改變了台積電內部的減碳算盤。所謂「科學路徑」，核心定義在於：承諾倡議的年份，就是企業的「碳達峰年（Carbon Peaking）」。換言之，台積電將 2025 年定為歷史碳排的最高峰，此後不論全球對先進製程晶片的需求如何瘋狂擴張、產能如何倍增，台積電整體的碳排放總量，都必須以每年平均減少 4.2% 的幅度為目標，毫無懸念地向下滑行。
Scope 1：從源頭開刀，取得 GWP 接近 1 的氣體專利
要達成如此嚴苛的「絕對減碳」，曾惠馨指出，台積電將管理劃分為三大範疇，現階段的重中之重是掌控 Scope 1（直接碳排）與 Scope 2（電力使用等間接碳排）。
在 Scope 1 上，全球半導體廠最頭痛的便是製程中所使用的特殊溫室氣體。「我們進行了徹底的內部碳盤查，揪出哪些是溫室效應的最主要元兇，」曾惠馨透露，這意味著台積電不只是消極地在後端處理廢氣，而是積極從「源頭減量」與「尋找替代氣體」著手。
針對全球暖化潛勢（GWP）極高的 CF4（四氟化碳）與 NF3（三氟化氮），皆是在晶圓生產過程中扮演著不可或缺、屬於極為關鍵的含氟特種電子氣體（Fluorinated Specialty Gases），前者在大氣中的壽命甚至長達五萬年，但曾惠馨透露，台積電已在研發端取得了重大突破，成功開發出 GWP 值接近「1」的全新替代氣體，並已順利取得專利。
「這項新氣體專利只是第一步，我們目前正跟全球主要的機台供應商進行『改機』開發。預計在今年與明年，就會將這批能操作新氣體的先進機台導入廠區做實地驗證。」曾惠馨說。除了源頭氣體的大換血，台積電對後端的現址式廢氣處理系統（Local Scrubber）也下達最後通牒。過去，這些處理機台對溫室氣體的去除率（DRE）若達 95% 已屬業界前段班，但為了符合 SBTi 的嚴格科學減碳標準，台積電目前正與供應商聯手開發更高效率的機型，目標是要將溫室氣體去除率榨出極限，提升至 99% 以上。
Scope 2：5,000 件節能方案與前十大設備商「能耗聯防」
然而，對半導體業而言，更難纏的大魔王往往是屬 Scope 2 的電力使用。眾所周知先進製程對電力需求龐大，此時，如何在「穿著衣服改衣服」的晶圓廠裡擠出節能的機會點？
台積電採取的策略是全體總動員。台積電內部嚴格遵守經濟部能源署每年 1.5% 的節能規範，為了將政策徹底落實，公司內部劃分為五大節能團隊：先進製程研發廠區組、12 吋晶圓廠區組、後段封測與 8 吋晶圓廠區組、EUV 組，以及聚焦非製程設備之公用設施的廠務組。
五大團隊各設 KPI、各出奇招。從 2016 年至今，台積電在廠務端與產線製程端，總計推動了超過 5,000 件大大小小的節能優化方案。攤開歷史數據，截至 2024 年，台積電累計節電量已超越 47 億度。但光靠自己省還不夠，台積電已將這股永續正向影響力擴及全球半導體設備巨頭。「我們原本只跟前六大機台供應商談節能，現在已經擴大到前十大，」曾惠馨強調。台積電對這些巨頭夥伴設定了清晰目標——在 2035 年時，所有導入台積電廠區的機台，其節能效益都必須達到 30% 以上。
這群綠色工程師甚至開發出全新的「ECO Mode（動態節能模式）」。過去，晶圓廠機台不論是處於休眠（Sleep）或待機狀態，用電、用水與用氣量都維持不變。而現在透過 ECO Mode，機台能如同智慧型手機一樣，根據當前的製程操作條件，動態調節幫浦（Pump）和後端 Local Scrubber 的運轉功率。以極紫外光（EUV）微影設備為例，透過動態節能技術，成功將 EUV 尾翼設備的瞬間功率消耗降低了超過四成，目前已全面導入台積電海內外晶圓廠，實現了技術領先與綠色節能的雙贏。
不只是買家！化身跨界協調者，助力再生能源開發商克服挑戰
接著談到再生能源轉型，曾惠馨不諱言，台灣因為土地利用與地理環境限制，國內再生能源開發商正遭遇前所未有的瓶頸。但台積電的策略從來都不是只有雙手一攤、或坐在辦公室裡等綠電業者上門的「買家」，而是選擇挽起袖子，深入第一線成為協助開發商排除障礙的「夥伴」。
「開發商面臨的問題，從海上到陸上都有，必須要我們大家共同參與解決，」曾惠馨細數台積電如何扮演跨界協調者：為了確保海上的離岸風電能順利輸送，台積電密集與台電進行技術對接，確保民間綠電能穩定併聯至國家電網；當離岸風電面臨大型國際重型機具無處存放的窘境時，台積電出面協助溝通調度港口特定區域作為重裝備暫存基地；甚至針對國際工作船隊進出台灣海域的工作權、複雜的綠電證照行政審查流程，台積電都站在同一個陣線上協助業者與政府溝通，爭取彈性政策與簡化流程。正是這種「貼心且堅定」的在地協調者角色，讓台積電在國內綠電高難度的開拓環境中，依然能將再生能源使用比例一路拉升至 20%。
緊盯國際新趨勢：從 24/7 CFE 到台灣海域碳捕捉佈局
演講的後半段，曾惠馨將眾人的目光拉向國際最新綠能趨勢——全天候零碳電力（24/7 CFE，意指每週 7 天、每天 24 小時皆使用無碳電力）。她舉例，科技巨頭 Google 在美國伊利諾州，為了因應 AI 算力爆發帶來的全天候龐大電力需求，正與當地電廠合作，嘗試將傳統作為基載電力的「燃氣電廠」加上碳捕捉與封存技術（CCUS），使其華麗轉身為低碳基載電力。這是台積電正在密切關注並積極評估的模式。
半導體製程排放的二氧化碳濃度普遍極低，要進行碳捕捉在技術上極具挑戰。台積電全台尋找突破點，終於在台中零廢製造中心找到了著力點。因為該中心的廢氣經燃燒後，二氧化碳濃度接近 5%，具備捕捉價值。台積電隨即與美國研究機構合作，正式導入全台首座「膜分離技術」（Membrane Separation），也就是俗稱薄膜碳捕捉的設施，目前已啟用並進入試測階段。
曾惠馨透露，台積電已規劃在台南也新設零廢中心，屆時將導入「胺基吸收法」（Amine-based Absorption）裝置。這是目前全球技術最成熟、應用最廣泛的「化學吸收法」碳捕捉技術。她語帶使命地說，台積電的目標就是將這些頂尖技術完全本土化，並進一步推廣至各產業。
從減碳、資源循環、水資源管理，再到廠區復育螢火蟲生態池，這家從台灣到世界都動見觀瞻地位的半導體巨頭，不斷向世界展現晶圓生產極限突破同時，也在證明科技發展與自然環境存在著和諧共好的新定律。
（本篇文章出自天下永續會出版《2026企業永續白皮書》）