節電、減碳、循環經濟⋯⋯，除了新技術、新作法，實現氣候目標還需要先思維。為了淨零，ASML修改指引，教育研發工程師和客戶端的團隊，所謂「像新的一樣」，可能代表有些許使用痕跡。只要不影響功能，客戶都可將之視為新零件。
英國《衛報》（the Guardian）2021年9月的一篇報導「半導體產業有個問題」，指出半導體產業助長了氣候危機，主因晶片的製程碳足跡高，消耗大量能源與水資源，同時也會產生有害廢棄物。但同時，半導體也是實現全球氣候目標不可或缺的一份子。
半導體產業已意識到對環境的影響，各大廠相繼訂出永續目標。ASML的長期客戶英特爾（Intel），最近承諾將在2040年前達到零淨碳排（台積電先前也宣布類似目標），許多公司也相繼跟進。
全球晶圓大廠挑戰淨零碳排
荷蘭半導體微影設備商艾司摩爾（ASML）也不例外。ASML總裁暨執行長Peter Wennink指出，由於全球氣候變遷的問題，ASML更加關注ESG永續發展的原因。他表示：「氣候變遷是全球挑戰，需要每個人立即採取行動。」
ASML已從過去永續發展著重的五大領域，擴大採納共計九大重點的永續策略，為聯合國永續發展目標（SDGs）共同盡一份心力。「我們體認到ESG對利害關係人來說日益重要；但更重要的是，這本來就是該做的事情」。
減量、回收、再利用
ASML在環境保護上的兩大關注焦點，其一就是循環經濟。摒棄「取得、製造、使用、丟棄」（take, make, use, dispose）的線性經濟模式，針對零件、工具及包裝均儘量回收、修復和再利用，藉此降低營運廢棄物。除了投資在提高自身產品能源效率，進而協助降低晶片製程所消耗的能源。
ASML總裁暨技術長Martin van den Brink表示，協助企業在產品、資源與製程各方面減少不必要的浪費，已成為他的個人使命。他說：「在廢棄物減量方面，ASML制定了完善的路徑圖。」其目標包含：每百萬歐元營收所產生的廢棄物公斤數，從2019年到2025年要降低50%；在此同時，物料回收率要在2025年提高到85%（更多資訊請參考：ASML 2022年度報告）。
以設計實踐再利用
不過，「光是找出目前可以回收再利用的物料還不夠，」ASML永續小組主任Jules Tops表示，「我們必須將廢棄物減量融入產品設計中。」
ASM跨部門的永續小組，特別著重幾項設計原則，包含零件是否容易維修（repairability）、易於升級（upgradeability），這有賴在個別產品平台與跨產品平台的設備間，創造共通設計。
Jules說：「如果我們設計出無法維修的零件，那就會變成廢棄物。假如我們知道客戶會需要在晶圓廠替換這個零件，那我們就必須確保它可以維修。」ASML盡可能再製造（remanufacture）二手設備零件，將效能恢復到新生產零件的標準。
以設計實踐再利用的例子之一，是ASML極紫外光（EUV）微影製程機台內的錫離子回收系統。在這項先進技術中，雷射脈衝轟擊極微小的錫滴來發光，共轟擊兩次；先將錫滴打平，再氣化成發出EUV光的電漿。整個過程每秒重複5萬次（對，你沒看錯”每秒5萬次”）。
流程結束後，廢棄的錫離子被收集在「桶子」裡，一般會直接丟棄；不過，ASML在荷蘭Veldhoven及加州聖地牙哥的研發團隊，和供應商VDL集團一起開發了可以萃取並再利用錫離子的方法，回收桶也可重複使用。
Jules補充：「我們也避免製造『疊代設計廢棄物』（iterative design waste）。我們設計新零件，或零件的新版本時，通常牽涉到極尖端的技術，需要反覆試驗，不見得每次都會成功。因此我們協助研發團隊發展風險降低策略，減少可能產生的廢料，並加快學習速度，避免重複錯誤。」
改良採購與物流程序
ASML另一項廢棄物來源是剩餘零件。再利用小組和採購及供應鏈部門與物流部門緊密合作，確保唯有在需求明確時，才下訂購買備用物料。ASML工業工程師暨再利用「大使」Mirjam van Geel的說法是：「少即是多——廢棄物減量比再利用更好。這正是為什麼我們盡力減少購入不需要的物料。」
物流部門是降低包材廢棄物的重要夥伴。2021年，ASML零件包裝及工廠和客戶晶圓廠間運送所需材料方面，總計回收超過4,300公噸。
「我們除了想回收再利用包材外，也同時努力從源頭減少包裝使用。」Jules表示，方法之一，是將地區性零件維修及配送中心，設在主要客戶廠區附近。他接著補充：「這樣一來，我們可以快速維修零件，減少來回客戶晶圓廠的運送包材。」這樣的在地化策略，也有效減少運送過程的碳排，更讓我們在疫情期間得以維持穩定營運。
改變思維
讓客戶終身使用的永續思維，是核心設計理念。產品的模組化設計，讓ASML可以直接在客戶端現場升級機台規格，不需替換整組設備。目前已售出的微影機台中，有94%都還在客戶端服務；此外，也有部分業務是翻修經典機台PAS 5500和TWINSCAN微影設備，賦予其新生命和新用途。
據Jules的說法，現在的挑戰是如何重設思維，讓大家適應「品質」的新定義。他說：「品質精良，但卻留下一堆廢棄物的產品，絕非真正的高品質。」
其中一個轉換思維的例子，是我們更新了產品外觀指引（cosmetic guidelines），納入再利用。Jules說明：「在這之前，根據指引，零件上幾乎不容許有任何刮痕。但其實，零件在使用後本來就會出現一些痕跡。所以我們必須修改指引，教育研發工程師和客戶端的團隊，所謂『像新的一樣』，可能代表有些許使用痕跡。只要不影響功能，客戶都可將之視為新零件。」
保護環境，人人受益
「廢棄物減量，不僅為了環境是該做的事，其實也能讓顧客受惠，並幫我們節省成本，」Jules表示，「客戶積極和我們合作推動再利用。Intel是第一個加入再製造零件計畫的客戶，因為該計畫符合他們的永續目標；而去年，SK海力士半導體公司（SK hynix）則頒發社會責任獎，給我們的地區維修團隊。」
維修在地化是關鍵。再利用計畫顧客支援經理Seung-Yong Jin解釋：「我們越是能在客戶晶圓廠附近的維修中心實踐再利用，當客戶出現需求時，就越能確保我們即時提供所需物料。」
連結供應鏈
ASML也鼓勵供應商為循環經濟出一份力。這正是我們供應商永續計畫中，七大核心焦點之一。「供應商設計的零件，用在我們的機器上，所以必須把他們一起納入再利用的流程裡。」Jules提到，「在第一線，你永遠無法預料會遇到怎樣的物流挑戰，因此必須和供應鍊廠商一起學習。」
ASML技術長Martin van den Brink最近拜訪了供應商Prodrive Technologies，該公司位於ASML總部恩荷芬（Eindhoven）智慧港（Brainport）區附近。在拜會過程中，雙方就維修零件的多項原則達成共識，齊心推動再利用。
Jules表示，「我們甚至協議，若遇到無法維修的零件，對方會送回樣本，看看我們是否能修改設計，或是找其他方法讓零件便於再利用。」
全球晶片短缺，對ASML的機台需求也隨之攀升。在回顧EUV微影技術發展歷史的專題報導中，EUV工廠的副總裁Sheila Leenders承認，在提高EUV微影機台產量的時候，「我們的供應鏈面臨極大挑戰。」Jules相信，循環再利用會是我們成功滿足客戶需求的關鍵。他說：「假如ASML和供應商能盡可能維修、再使用零件，就可減輕供應鏈負擔，讓廠商專心製造機台所需的全新零件。」
「我希望讓再利用變成毫無阻礙的選項——再熟悉、簡單不過，把東西丟掉反而更費工。」Jules 總結道，「循環利用不是一個可有可無的選項。在ASML，這是打造我們自豪的優質產品的一部份。」
2022年5月25日，KATE BRUNTON撰文
https://www.asml.com/en/news/stories/2022/designing-for-circularity?ppc=EML-15
【參考資料】：衛報「The computer chip industry has a dirty climate secret